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AXI-930B
產品描述

-Manufacturer : Rudolph

-Type : wafer inspection
-Model :AXI-930B

技術支持

1、設備可適用8”和12”的圓片,8”圓片厚度≥190微米,12”圓片厚度≥400微米,翹曲度小于200um。
2、攝像頭解析度:像素為1200x1600 pixels。不同物鏡下的最小分辨率:4.8um @ 2X,3.2um @ 3X,1.9um @ 5X,0.95um @ 10X,0.48um@20X。
3、可靠性:運行10次進行計算,可靠性> 95%(在+/-1個像素誤差條件下)
4、誤報率:誤報率 < 2%(在+/-1個像素誤差條件下)
5、捕捉率:捕捉率>= 95%(在+/-1個像素誤差條件下)

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上海友相電子科技有限公司

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